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离子沉积技术应用很广,本人工作在photovoltaic领域,利用PECVD沉积氮化硅。
你在哪一块呢?简单介绍一下吧

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foolmos 2010-9-29 01:40:21 | 只看该作者
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这贴太精深了...我只做过一点普通CVD,用氢气还原双金属氯化物,动力学太难控制了...

离子沉积技术应用很广,本人工作在photovoltaic领域,利用PECVD沉积氮化硅。
你在哪一块呢?简单介绍一下吧
haxw2005 发表于 2010-9-28 12:31
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 楼主| haxw2005 2010-9-29 10:38:05 | 只看该作者
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这贴太精深了...我只做过一点普通CVD,用氢气还原双金属氯化物,动力学太难控制了...

. .и
foolmos 发表于 2010-9-29 01:40
.
这一大块要想吃透不容易,牵扯到很多学科交叉领域
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夏至PC 2012-8-19 17:48:53 | 只看该作者
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用CVD做过氧化锌阵列。。。。薄弱了,做染敏的。。。求推荐加拿大学校、、、、
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脸圆圆66 2017-1-12 04:26:59 | 只看该作者
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等离子体 模拟仿真 方向怎么样?内心有点虚啊
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